該設(shè)備是針對代替Wafer顯微鏡目檢,進(jìn)行初步外觀檢查所開發(fā)的半自動機(jī)型,以機(jī)器視覺檢測為主,包括檢測表面污染、劃片損傷、尺寸量測等瑕疵。通過正面檢測Wafer,兼容8寸和12寸,可以自動生成Mapping圖,自動生成報(bào)表,可以存儲照片用于回溯。
該設(shè)備是針對代替Wafer顯微鏡目檢,進(jìn)行初步外觀檢查所開發(fā)的半自動機(jī)型,以機(jī)器視覺檢測為主,包括檢測表面污染、劃片損傷、尺寸量測等瑕疵。通過正面檢測Wafer,兼容8寸和12寸,可以自動生成Mapping圖,自動生成報(bào)表,可以存儲照片用于回溯。