該設(shè)備是針對(duì)代替Wafer顯微鏡目檢，進(jìn)行初步外觀檢查所開發(fā)的半自動(dòng)機(jī)型，以機(jī)器視覺檢測(cè)為主，包括檢測(cè)表面污染、劃片損傷、尺寸量測(cè)等瑕疵。通過正面檢測(cè)Wafer，兼容8寸和12寸，可以自動(dòng)生成Mapping圖，自動(dòng)生成報(bào)表，可以存儲(chǔ)照片用于回溯。 ?
該設(shè)備是針對(duì)代替Wafer顯微鏡目檢，進(jìn)行初步外觀檢查所開發(fā)的半自動(dòng)機(jī)型，以機(jī)器視覺檢測(cè)為主，包括檢測(cè)表面污染、劃片損傷、尺寸量測(cè)等瑕疵。通過正面檢測(cè)Wafer，兼容8寸和12寸，可以自動(dòng)生成Mapping圖，自動(dòng)生成報(bào)表，可以存儲(chǔ)照片用于回溯。
該設(shè)備是針對(duì)代替Wafer顯微鏡目檢，進(jìn)行初步外觀檢查所開發(fā)的半自動(dòng)機(jī)型，以機(jī)器視覺檢測(cè)為主，包括檢測(cè)表面污染、劃片損傷、尺寸量測(cè)等瑕疵。通過正面檢測(cè)Wafer，兼容8寸和12寸，可以自動(dòng)生成Mapping圖，自動(dòng)生成報(bào)表，可以存儲(chǔ)照片用于回溯。
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